KÍCH THƯỚC NHÔM OXIDE CHO LAPPING WAFER SILICON
Có rất nhiều loại oxit nhôm trên thị trường.
Do kỹ thuật sản xuất, có oxit nhôm nung và oxit nhôm nung chảy.
Theo pha tinh thể, có oxit nhôm α và oxit nhôm β.
Vậy thì loại oxit nhôm nào được sử dụng để phủ tấm wafer silicon?
Nó là một loại oxit nhôm nung tiểu cầu màu trắng, công ty mài mòn Zhengzhou haixu, đã sản xuất nó trong nhiều năm, chất lượng tương tự như JAPAN FUJIMI và USA Microgrit WCA.
Kích thước vật liệu mài mòn haixu sản xuất như sau?
| KÍCH CỠ | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13,4-15,6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24,4-28,2 | 16.1-18.7 | 9,6-11,2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8,2-9,8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25,2 | 14,8-17,2 | 9,4-11 | 5,8-6,8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20,3 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3,3-3,9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
Trong đó HX-PWA/WCA09,HX-PWA/WCA12 và HX-PWA/WCA15 được sử dụng rộng rãi để phủ tấm wafer silicon.
