Loại oxit nhôm nào được sử dụng cho Silicon Wafer Lapping

Có nhiều loại oxit nhôm trên thị trường, được sử dụng trong các lĩnh vực khác nhau.

Đối với lớp phủ wafer silicon, thường sử dụng oxit nhôm nung trắng tiểu cầu, có dạng tấm và thông số kỹ thuật như sau:

THÀNH PHẦN HÓA HỌC TRUNG BÌNH (ĐIỂN HÌNH)             

Al ₂ O ₃                                                  ＞99,0%

SiO2 _＜                                                   0,2%

Fe2O3＜0,1%

Na2O _＜ 1%

TÍNH CHẤT VẬT LÝ ( ĐIỂN HÌNH A L)  

Độ cứng Mohs 9.0

Khối lượng riêng ＞3,9g/cm ³

hình dạng tấm hình

PHÂN PHỐI KÍCH THƯỚC HẠT