Tại sao có thể sử dụng nhôm oxit trắng nung chảy để mài và đánh bóng chip?
Nhôm oxit trắng nung chảy còn được gọi là corundum trắng, nhôm oxit trắng, sở hữu các đặc tính độ cứng cao, tự mài tốt, chống ăn mòn axit và kiềm, chịu nhiệt độ cao và hiệu suất nhiệt ổn định.
Là vật liệu cốt lõi để mài và đánh bóng chip, nhôm oxit trắng nung chảy chủ yếu dựa trên các tính chất vật lý và hóa học độc đáo của nó, đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chip về độ chính xác cao và ô nhiễm thấp:
1. Ưu điểm về hiệu suất vật lý
Độ cứng cực cao và cắt chính xác
Độ cứng Mohs của nhôm oxit trắng nung chảy trên 9,0 (chỉ thấp hơn kim cương và silicon carbide ), các hạt sắc nét và tự mài (tự động cắt tỉa trong quá trình mài giúp giữ cho cạnh sắc nét), có thể loại bỏ hiệu quả sự không đồng đều ở cấp độ micron trên bề mặt của tấm silicon và đạt được độ phẳng bề mặt ở cấp độ nguyên tử.
Độ đồng đều và ổn định kích thước hạt
Kích thước hạt của bột vi mô được kiểm soát bằng quy trình phân loại tràn truyền thống, và sự phân bố đồng đều và tập trung, đảm bảo áp suất nghiền được phân bổ đều, tránh trầy xước hoặc rỗ, đồng thời đảm bảo độ hoàn thiện bề mặt và độ chính xác về kích thước của chip.
Độ ổn định nhiệt tuyệt vời
Duy trì các tính chất vật lý ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, giảm đáng kể nguy cơ giãn nở nhiệt trong quá trình nghiền và bảo vệ cấu trúc chip khỏi bị hư hỏng do nhiệt.
2. Tính chất hóa học đảm bảo
Độ tinh khiết cao và trơ về mặt hóa học
Thành phần chính của nhôm oxit trắng nóng chảy là α-alumina (độ tinh khiết> 99%), hầu như không chứa tạp chất kim loại như sắt (hàm lượng sắt cực thấp) và không phản ứng hóa học với các tấm silicon trong quá trình nghiền, tránh hoàn toàn ô nhiễm hoặc oxy hóa bề mặt chip.
An toàn môi trường
Không gây ô nhiễm phóng xạ, phù hợp với các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về sản xuất chất bán dẫn về an toàn vật liệu.
3. Thích ứng với quy trình sản xuất chip
Thành phần cốt lõi của dung dịch đánh bóng
Bột vi nhôm trắng nóng chảy được sử dụng làm chất mài mòn chính trong dung dịch đánh bóng. Sản phẩm đạt được độ phẳng nano của wafer silicon thông qua đánh bóng ướt, đáp ứng các yêu cầu khắc nghiệt về độ phẳng bề mặt của việc xếp chồng mạch chip. Khả năng ứng dụng
đa dạng
Tương thích với nhiều quy trình như mài khô, mài ướt, đánh bóng cơ học hóa học (CMP), và khả năng thích ứng linh hoạt với nhu cầu mài của các giai đoạn khác nhau trong sản xuất chip.
4. Ưu điểm so với các vật liệu khác
So với silicon carbide (độ ổn định hóa học hơi kém) hoặc alumina thông thường (độ tinh khiết thấp hơn một chút), alumina trắng nung chảy có độ tinh khiết, độ đồng đều về độ cứng và độ trơ hóa học không thể thay thế, đặc biệt phù hợp cho sản xuất chất bán dẫn với dung sai tạp chất cực thấp.
Tóm tắt
Alumina trắng nung chảy dựa vào độ cứng cực cao + khả năng tự mài để đảm bảo hiệu quả mài, kiểm soát kích thước hạt ở cấp độ nano + độ ổn định nhiệt để đạt được độ chính xác gia công, và độ tinh khiết 99% + độ trơ hóa học để loại bỏ ô nhiễm, khiến nó trở thành vật liệu không thể thay thế cho mài và đánh bóng chip. Ứng dụng của nó trong dung dịch đánh bóng bán dẫn hỗ trợ trực tiếp cho việc thu nhỏ và phát triển hiệu suất cao của chip hiện đại.
Company Profile
Menu
